飛秒微加工系統(tǒng)包括免維護工業(yè)級別fs激光器系統(tǒng)和高穩(wěn)定性模塊化設計激光加工模組，系統(tǒng)采用的花崗石龍門支架結構設計可以保證系統(tǒng)優(yōu)良的加工穩(wěn)定性。系統(tǒng)配置快速移動、nm運動精度和高達600mm行程范圍的運動平臺，使得系統(tǒng)在大幅面超精細處理領域有著非凡的能力。另外根據客戶不同加工需求，可選擇掃描振鏡、長工作距離顯微物鏡或者螺旋鉆孔系統(tǒng)以及真空環(huán)境樣品室等，在超快激光刻蝕、表面處理和表面3D雕刻、觸摸屏和ITO切割以及金屬、合金、半導體、陶瓷等多種材料的鉆孔和切割等領域都有著十分出色的應用。
飛秒微加工系統(tǒng)可以滿足高精度三維結構制備、多材料微納結構加工以及器件成型與集成的加工需求，因此，在各類微納結構化功能部件的研制中展現(xiàn)出了很大的技術優(yōu)勢。目前，飛秒激光已經廣泛應用于多個前沿科學領域。
利用飛秒微加工系統(tǒng)可以制備各種微光學器件，如微透鏡陣列、仿生復眼、光波導和超表面等。吉林大學研究團隊利用雙光子聚合技術制備了一種基于仿生蛋白質的微透鏡，該透鏡在外界刺激下可動態(tài)調節(jié)焦距，同時具有伸縮性、良好的生物相容性和生物可降解性；進一步該團隊利用激光加工技術制備了可變焦的仿生復眼，實現(xiàn)了大視場變焦成像的功能，如圖1所示。利用其高精度、高分辨率和三維加工能力，飛秒激光加工技術成為制備三維微流控芯片的強大工具。目前，微流體器件的制備材料體系十分多樣化，最常見的制備材料為玻璃和聚合物材料（PDMS、PMMA等），隨著微流控芯片應用環(huán)境的復雜化和多樣化，一些具有*機械性能的材料，如藍寶石和金剛石也已被研究者們開發(fā)并用于微流體器件的制備中，以應對一些特殊的需求，如高壓高溫環(huán)境等。
